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J-GLOBAL ID：201301096861489211   Update date: Feb. 23, 2024

Yoshitaka Nakano

ナカノ ヨシタカ | Yoshitaka Nakano
Affiliation and department：
Chubu University College of Engineering

About Chubu University College of Engineering


Homepage URL  (1)： https://www3.chubu.ac.jp/faculty/nakano_yoshitaka/#header
Research field  (4)： Electronic devices and equipment ,  Thin-film surfaces and interfaces ,  Crystal engineering ,  Electric/electronic material engineering
Research keywords  (10)： プラズマダメージ ,  プロセス技術・評価 ,  パワー半導体 ,  窒化物半導体 ,  電流コラプス ,  結晶成長 ,  欠陥準位 ,  AlGaN/GaN heterostructure ,  state-state photocapacitance spectroscopy ,  oxide semiconductors
Research theme for competitive and other funds  (14)：
  • 2022 - 2025 次世代パワー半導体β-Ga2O3の固有欠陥準位の全容解明
  • 2019 - 2022 プラズマイオン衝撃により誘発されるp型GaNの電気的ダメージの全容解明 研究課題
  • 2016 - 2019 Si基板上AlGaN/GaNヘテロ構造の欠陥準位とスイッチング特性の相関解明 研究課題
  • 2014 - 2018 Elucidation of UV irradiation effect in plasma etching process of wide gap semiconductors
  • 2014 - 2017 Investigation on hydrogen interaction with nitride-based semiconductor metal/semiconductor interfaces
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Papers (93)：
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MISC (161)：
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Patents (17)：
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Professional career (1)：
  • 博士(工学)
Work history (4)：
  • 2018/04 - 現在 Chubu University College of Engineering
  • 2014/04 - 2018/03 Chubu University
  • 2008/01 - 2014/03 Chubu University Institute of Science and Technology Research
  • 1991/04 - 2007/12 豊田中央研究所 研究員
Association Membership(s) (4)：
Electrochemical Society ,  American Vacuum Society ,  日本表面真空学会 ,  THE JAPAN SOCIETY OF APPLIED PHYSICS
※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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