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J-GLOBAL ID：201802238107939529   Reference number：18A1913188

メゾスコピック構造と界面物性制御:原子状水素によるPMMA薄膜改質

Author (6)： MATSUO AKARI (大阪市大 大学院) ,  TAKAGI SEIJI (大阪市大 大学院) ,  NISHIYAMA TAKASHI (大阪市大 大学院) ,  YAMAMOTO MASASHI (香川高専) ,  SATO ERIKO (大阪市大 大学院) ,  HORIBE HIDEO (大阪市大 大学院)
Material： 放射線化学討論会講演要旨集  (Program and Abstract. Annual Meetings of the Japanese Society of Radiation Chemistry)
Volume： 61st  Page： 165-166  Publication year： Sep. 25, 2018 
JST Material Number： L0690A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *mesoscopic system ,  *physical property ,  *Hydrogen ,  *polymer membrane ,  polymer thin film ,  chemical vapor deposition ,  Tungsten ,  *control ,  surface structure ,  surface quality ,  *surface modification ,  micro structure ,  wet etching ,  reaction temperature ,  wafer ,  *atomic hydrogen ,  *PMMA membrane ,  size control ,  Si wafer ,  *nano control ,  structure
Semi thesaurus term： *interfacial property ,  hot-wire deposition ,  silicon substrate ,  *nano structure control

JST classification (1)： Structure and morphology of polymer solids  (CG02022M)

Terms in the title (5)： 界面物性 ,  原子状水素 ,  PMMA ,  薄膜 ,  改質