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J-GLOBAL ID：201802252111837589   Reference number：18A1984423

二酸化炭素の環境問題と利用 超臨界二酸化炭素流体中における薄膜堆積

Author (1)： KONDO EIICHI (山梨大 工)
Material： Journal of the Society of Inorganic Materials, Japan  (J Soc Inorg Mater Jpn)
Volume： 25  Issue： 397  Page： 431-436  Publication year： Nov. 01, 2018 
JST Material Number： F0275A  ISSN： 1345-3769  CODEN： JSIJFR  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *thin film growth ,  *chemical vapor deposition ,  carrier gas ,  *supercritical carbon dioxide ,  supercritical fluid ,  permeability ,  interfacial tension ,  adhesion property ,  interposition ,  pore structure ,  pore ,  dissolution ,  hydrophobic
Semi thesaurus term： Permeability ,  Surface Tension ,  packability

JST classification (1)： Techniques and equipment of thin film deposition  (BK14020I)

Reference (33)：

• R. Span, W. Wagner, J. Phys. Chem. Ref Data, 25, 1509-1596 (1996).
• X. Zhao, K. Hirogaki, I. Tabata, S. Okubayashi, T. Hori, Surf Coat. Technol., 201, 628-636 (2006).
• B. Wong, S. Yoda, S. M. Howdle, J. Supercritical Fluids, 42, 282-287 (2007).
• H. Wakayama, N. Setoyama, Y. Fukushima, Adv. Mater., 15, 742-745 (2003)
• Y. Fukushima, H. Wakayama, J. Phys. Chem. B, 103,3062-3064 (1999).

Terms in the title (6)： 二酸化炭素 ,  環境問題 ,  超臨界二酸化炭素 ,  流体 ,  薄膜 ,  堆積