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J-GLOBAL ID：201802271347646033   Reference number：18A0311120

側壁ダブルパターニングを前提とした2層配線手法

Author (2)： TAMURA SHOYA (東京農工大 工) ,  FUJIYOSHI KUNIHIRO (東京農工大 工)
Material： 回路とシステムワークショップ論文集(CD-ROM)
Volume： 30th  Page： ROMBUNNO.C2-1-3  Publication year： 2017 
JST Material Number： F2105A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *multilayer interconnection ,  *circuit pattern generation ,  side wall ,  undirected graph ,  terminal (electric parts) ,  network ,  closed circuit ,  algorithm ,  *layout design ,  *double patterning
Semi thesaurus term： *2層配線 ,  layout design ,  自己閉路 ,  垂直配線 ,  水平配線

JST classification (1)： Theory of computation  (JB02000A)

Terms in the title (4)： 側壁 ,  ダブルパターニング ,  2層 ,  手法