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J-GLOBAL ID：201802285443367808   Reference number：18A0017880

Periodic error evaluation system for linear encoders using a homodyne laser interferometer with 10 picometer uncertainty

10ピコメータ不確実性を用いたホモダインレーザー干渉計を用いた線形符号器のための周期的誤差評価システム【Powered by NICT】

Author (5)： Hori Yasuaki (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), AIST Tsukuba Central 3, 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8563, Japan) ,  Gonda Satoshi (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), AIST Tsukuba Central 3, 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8563, Japan) ,  Bitou Youichi (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), AIST Tsukuba Central 3, 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8563, Japan) ,  Watanabe Akihiro (Encoder Business Unit, Nikon Corporation, 227, Tako Aza-hara, Natori, Miyagi 981-1221, Japan) ,  Nakamura Koutaro (Encoder Business Unit, Nikon Corporation, 227, Tako Aza-hara, Natori, Miyagi 981-1221, Japan)
Material： Precision Engineering  (Precis Eng)
Volume： 51  Page： 388-392  Publication year： 2018 
JST Material Number： A0734B  ISSN： 0141-6359  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Abstract/Point： An ultraprecision system to ev...

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Thesaurus term： *uncertainty ,  *linearity ,  reliability(property) ,  *interference ,  self-evaluation ,  amplitude fluctuation ,  *interferometer ,  *laser interferometer ,  *coder ,  *linear code
Semi thesaurus term： 超精密 ,  リニアエンコーダ ,  *評価システム , 【Automatic Indexing@JST】

Author keywords (4)： Periodic error ,  Linear encoder ,  Homodyne interferometer ,  Self-evaluation method

JST classification (1)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O)

Terms in the title (4)： 不確実性 ,  レーザー干渉計 ,  線形符号器 ,  誤差評価