測定装置、光学式センサ、測定方法及びプログラム

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：龍華国際特許業務法人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2016254494
Publication number (International publication number)：2018105796
Application date： Dec. 27, 2016
Publication date： Jul. 05, 2018
Summary：

【課題】測定精度が、対象物体からの光を受光する複数の受光素子の解像力の影響を受け難い測定装置を提供する。【解決手段】測定装置は、対象物からの光を検出するための受光部130に対する、対象物に入射する光及び前記対象物からの光の少なくとも一方の光路を変化させる制御部と、受光部130が前記対象物からの光を検出した場合の前記光路に基づいて、対象物の形状を測定する測定部とを備える。対象物の形状を光により測定する測定方法は、対象物からの光を検出するための受光部130に対する、対象物に入射する光及び対象物からの光の少なくとも一方の光路を変化させる段階と、受光部130が対象物からの光を検出した場合の光路に基づいて、対象物の形状を測定する段階とを備える。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

対象物の形状を光により測定する測定装置であって、前記対象物からの光を検出するための受光部に対する、前記対象物に入射する光及び前記対象物からの光の少なくとも一方の光路を変化させる制御部と、前記受光部が前記対象物からの光を検出した場合の前記光路に基づいて、前記対象物の形状を測定する測定部とを備える測定装置。

IPC (1)：

G01B 11/24

FI (1)：

G01B11/24 A

F-Term (42)：

2F065AA02 , 2F065AA06 , 2F065AA09 , 2F065AA19 , 2F065AA20 , 2F065AA24 , 2F065CC40 , 2F065DD03 , 2F065DD04 , 2F065FF01 , 2F065FF02 , 2F065FF04 , 2F065FF09 , 2F065FF43 , 2F065FF65 , 2F065GG06 , 2F065JJ02 , 2F065JJ18 , 2F065JJ25 , 2F065LL13 , 2F065LL46 , 2F065LL53 , 2F065LL57 , 2F065MM16 , 2F065QQ17 , 2F065QQ25 , 2F065QQ29 , 2F065RR06 , 2F112AA06 , 2F112AA08 , 2F112AA09 , 2F112CA08 , 2F112CA12 , 2F112CA13 , 2F112CA14 , 2F112DA10 , 2F112DA15 , 2F112DA32 , 2F112FA03 , 2F112FA21 , 2F112FA39 , 2F112FA45

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

三次元位置測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-229188 Applicant：住友電気工業株式会社
スピンウェーハ検査システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2015-032427 Applicant：ケーエルエー-テンカー・コーポレーション
特開平4-052619

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