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J-GLOBAL ID：201803004101550894

酸化ガリウムの製造方法及び結晶成長装置

Inventor：
宇野 和行

About 宇野 和行

, 
中村 幸

About 中村 幸


Applicant, Patent owner：
国立大学法人 和歌山大学

About 国立大学法人 和歌山大学


Agent (1)： 特許業務法人三枝国際特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2016213949
Publication number (International publication number)：2018070422
Application date： Nov. 01, 2016
Publication date： May. 10, 2018
Summary：
【課題】高品質な酸化ガリウムの結晶を効率よく製造する技術を提供する。【解決手段】ハロゲン化ガリウム水溶液のミストをキャリアガスとともに結晶成長部に供給し、結晶成長部で酸化ガリウムを作製する工程を含み、前記結晶成長部は周辺部と成長部を含み、成長部の温度が周辺部よりも高温であるコールドウォール構造を有する、酸化ガリウムの製造方法。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
ハロゲン化ガリウム水溶液のミストをキャリアガスとともに結晶成長部に供給し、結晶成長部で酸化ガリウムを作製する工程を含み、前記結晶成長部は周辺部と成長部を含み、成長部の温度が周辺部よりも高温であるコールドウォール構造を有する、酸化ガリウムの製造方法。
IPC (6)：
C30B 29/16 ,  C30B 25/14 ,  C23C 16/40 ,  C23C 16/46 ,  C23C 16/448 ,  H01L 21/365
FI (6)：
C30B29/16 ,  C30B25/14 ,  C23C16/40 ,  C23C16/46 ,  C23C16/448 ,  H01L21/365
F-Term (45)：
4G077AA02 ,  4G077AA03 ,  4G077BB10 ,  4G077DB01 ,  4G077DB11 ,  4G077EC01 ,  4G077EC07 ,  4G077EG15 ,  4G077EG22 ,  4G077EG25 ,  4G077TA01 ,  4G077TA04 ,  4G077TA11 ,  4G077TB01 ,  4G077TC01 ,  4G077TD02 ,  4G077TH02 ,  4G077TH06 ,  4G077TH11 ,  4K030AA03 ,  4K030AA18 ,  4K030BA08 ,  4K030BA42 ,  4K030CA05 ,  4K030EA01 ,  4K030FA10 ,  4K030KA23 ,  5F045AA00 ,  5F045AB40 ,  5F045AC05 ,  5F045AC15 ,  5F045AC19 ,  5F045AD06 ,  5F045AD07 ,  5F045AD08 ,  5F045AD09 ,  5F045AD10 ,  5F045AF01 ,  5F045AF09 ,  5F045BB14 ,  5F045DP07 ,  5F045DQ06 ,  5F045EE02 ,  5F045EK06 ,  5F045EK07
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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