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J-GLOBAL ID：201803005070030419

検査装置、検査方法、検査プログラム、記憶媒体、および検査システム

Inventor： 八田 博志 ,  西谷 豊 ,  福井 涼 ,  宇都宮 真 ,  石川 真志 ,  笠野 英行 ,  小笠原 永久 ,  山田 浩之
Applicant, Patent owner： 国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構 ,  株式会社KJTD ,  国立大学法人徳島大学 ,  学校法人日本大学
Agent (5)： 棚井 澄雄 ,  橋本 宏之 ,  山口 洋 ,  沖田 壮男 ,  荒 則彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2017005152
Publication number (International publication number)：2018115874
Application date： Jan. 16, 2017
Publication date： Jul. 26, 2018
Summary：

【課題】検査時間を短縮するとともに高精度な検査を行うことが可能な検査装置、検査方法、検査プログラム、記憶媒体、および検査システムを提供する。【解決手段】本発明の一態様の検査装置は、検査対象物の表面温度の時間変化を示すデータを取得する取得部と、前記取得部によって取得された前記表面温度の時間変化を示すデータに対して位相変換を行い、位相値の周波数変化を示すデータを算出する変換部と、前記変換部により算出された前記位相値が、所定周波数以上の周波数領域で示すピークに基づいて、前記検査対象物の欠陥を判定する判定部と、を備える。【選択図】図11

Claim (excerpt)：

検査対象物の表面温度の時間変化を示すデータを取得する取得部と、 前記取得部によって取得された前記表面温度の時間変化を示すデータに対して位相変換を行い、位相値の周波数変化を示すデータを算出する変換部と、 前記変換部により算出された前記位相値が、所定周波数以上の周波数領域で示すピークに基づいて、前記検査対象物の欠陥を判定する判定部と、 を備える検査装置。

IPC (1)：

G01N 25/72

FI (1)：

G01N25/72 K

F-Term (8)：

2G040AA06 ,  2G040BA02 ,  2G040BA14 ,  2G040CA02 ,  2G040DA06 ,  2G040EA06 ,  2G040EC04 ,  2G040HA05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 探傷方法及び探傷装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2012-174309   Applicant：独立行政法人宇宙航空研究開発機構, 株式会社KJTD
• 特許第5574261号
  
• 非破壊検査方法及び非破壊検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2010-236362   Applicant：株式会社ジェイテクト
• 欠陥検査方法およびその装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-054595   Applicant：阪上隆英, 住友大阪セメント株式会社