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J-GLOBAL ID：201803009421330819

センサ

Inventor： 下山 勲 ,  松本 潔 ,  グェン ビン キェム ,  高橋 英俊 ,  グェン ミン ジュン ,  田村 洋人 ,  ファン クァン カン ,  大森 隆広 ,  西村 修 ,  笠原 章裕
Applicant, Patent owner： 国立大学法人 東京大学 ,  株式会社東芝
Agent (1)： 日向寺 雅彦
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2015559069
Patent number：6315429
Application date： Jan. 20, 2015
Claim (excerpt)：

【請求項1】 支持部と、 前記支持部に支持された第1端部と、変位可能な第1部分と、を含む第1領域を含み、開口部を有する膜部と、 を含む構造体と、 前記構造体と接続され、前記膜部との間に液体が設けられた容器と、 前記液体の変位に伴う前記第1部分の変位を検出する検出部と、 を備えたセンサ。

IPC (6)：

H04R 23/00 ( 200 6.01) ,  H04R 17/00 ( 200 6.01) ,  H04R 17/02 ( 200 6.01) ,  G01N 29/14 ( 200 6.01) ,  G01N 29/24 ( 200 6.01) ,  G01H 3/00 ( 200 6.01)

FI (8)：

H04R 23/00 320 ,  H04R 23/00 330 ,  H04R 17/00 330 G ,  H04R 17/00 330 H ,  H04R 17/02 ,  G01N 29/14 ,  G01N 29/24 ,  G01H 3/00 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 音圧検出装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-142552   Applicant：戸田耕司
• 薄膜式微小AEセンサ及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-073420   Applicant：大阪瓦斯株式会社