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J-GLOBAL ID：201803018589321172

走査型プローブ顕微鏡

Inventor： 内橋 貴之 ,  柴田 幹大 ,  古寺 哲幸
Applicant, Patent owner： 国立大学法人金沢大学
Agent (1)： 新居 広守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2016234584
Publication number (International publication number)：2018091695
Application date： Dec. 01, 2016
Publication date： Jun. 14, 2018
Summary：

【課題】観測画像に歪みが生じるのを抑制することができる走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】観測試料20を載置する試料ステージ22と、観測試料20の表面状態または動態を観測する探針10と、試料ステージ22を駆動するスキャナ24と、スキャナ24の動作を制御するコンピュータ35とを備え、コンピュータ35は、所定の周期で振幅の増加および減少を繰り返す走査電圧をスキャナ24に印加し、走査電圧は、振幅の増加開始直後の第1の期間における振幅の増加の加速度が正の値である。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

観測試料を載置する試料ステージと、 前記観測試料の表面状態または動態を観測する探針と、 前記試料ステージを駆動するスキャナと、 前記スキャナの動作を制御する制御部とを備え、 前記制御部は、所定の周期で振幅の増加および減少を繰り返す走査電圧を前記スキャナに印加し、 前記走査電圧は、振幅の増加開始直後の第1の期間における振幅の増加の加速度が正の値である 走査型プローブ顕微鏡。

IPC (3)：

G01Q 10/06 ,  G01Q 10/04 ,  G01Q 60/24

FI (3)：

G01Q10/06 ,  G01Q10/04 101 ,  G01Q60/24

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• スキャナシステム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-272292   Applicant：オリンパス光学工業株式会社