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J-GLOBAL ID：201803018793787687

三次元形状計測システム

Inventor： 近藤 余範 ,  尾藤 洋一
Applicant, Patent owner： 国立研究開発法人産業技術総合研究所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2016195480
Publication number (International publication number)：2018059733
Application date： Oct. 03, 2016
Publication date： Apr. 12, 2018
Summary：

【課題】高精度で大型の対象物も計測可能な3Dトポグラフィ測定装置を提供する。【解決手段】三次元形状計測システムは、第1オートコリメータ2を測定対象物4の複数位置で第1の方向に相対的にスキャンさせ、測定対象物の表面における第1の方向の二次元形状を計測する第1の二次元形状計測機構と、第1オートコリメータ2を測定対象物4の特定位置で、第1の方向と交差する第2の方向に相対的にスキャンさせ、測定対象物4の表面における第2の方向の二次元形状を計測する第2の二次元形状計測機構とを備えている。第1の二次元形状計測機構が計測した第1の方向の二次元形状と、第2の二次元形状計測機構が計測した第2の方向の二次元形状とを、両者の交差点で連結することにより、測定対象物4の三次元形状を得る。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

測定対象物の特定の複数位置で、オートコリメータと前記測定対象物の少なくとも一方を他方に対し第1の方向に走査させ、前記測定対象物の表面における前記第1の方向の二次元形状を複数位置で計測する第1の二次元形状計測機構と、 前記オートコリメータを前記測定対象物の特定位置で、前記オートコリメータと前記測定対象物の少なくとも一方を他方に対し、前記第1の方向と交差する第2の方向に走査させ、前記測定対象物の表面における前記第2の方向の二次元形状を計測する第2の二次元形状計測機構とを備え、 前記第1の二次元形状計測機構が計測した前記第1の方向の二次元形状と、前記第2の二次元形状計測機構が計測した前記第2の方向の二次元形状とを、両者の交差点で連結することにより、前記測定対象物の三次元形状を得ることを特徴とする三次元形状計測システム。

IPC (2)：

G01B 11/24 ,  G01B 11/26

FI (2)：

G01B11/24 A ,  G01B11/26 Z

F-Term (20)：

2F065AA06 ,  2F065AA31 ,  2F065AA51 ,  2F065AA53 ,  2F065DD02 ,  2F065DD03 ,  2F065FF51 ,  2F065FF65 ,  2F065HH04 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL14 ,  2F065LL28 ,  2F065MM01 ,  2F065MM04 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ14 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065RR08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 表面形状測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-359677   Applicant：株式会社東北テクノアーチ
• 3次元形状測定方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2005-147609   Applicant：オリンパス株式会社