走査型プローブ顕微鏡及びその制御方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：新居広守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2016188803
Publication number (International publication number)：2018054385
Application date： Sep. 27, 2016
Publication date： Apr. 05, 2018
Summary：

【課題】連続撮影モードにおいて、従来よりも短い測定時間で画像化を繰り返すことが可能な走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】走査型プローブ顕微鏡10は、プローブ11と、XYスキャナ12と、Zスキャナ13と、XYスキャナ12及びZスキャナ13を制御することによって試料22の表面における立体形状を画像化する制御部19とを備える。制御部19は、画像化を繰り返す連続撮影モードにおいて、過去の画像化で得られた画像に基づいて、次の画像化のためのプローブ11の走査及びプローブ11のZ軸方向の駆動の少なくとも一方に関する走査条件を決定し、決定した走査条件に従ってXYスキャナ12及びZスキャナ13を制御することで次の画像化を行うことを繰り返す。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

プローブと、試料に対して相対的に前記プローブを2次元的に走査するXYスキャナと、前記XYスキャナによる走査面と直交するZ軸方向に前記プローブを駆動するZスキャナと、前記XYスキャナ及び前記Zスキャナを制御することによって前記試料の表面における立体形状を画像化する制御部とを備え、前記制御部は、前記画像化を繰り返す連続撮影モードにおいて、過去の画像化で得られた画像に基づいて、次の画像化のための前記プローブの走査及び前記プローブのZ軸方向の駆動の少なくとも一方に関する走査条件を決定し、決定した走査条件に従って前記XYスキャナ及び前記Zスキャナを制御することで次の画像化を行うことを繰り返す走査型プローブ顕微鏡。

IPC (2)：

G01Q 10/04 , G01Q 60/44

FI (2)：

G01Q10/04 , G01Q60/44

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

探針走査制御方法および走査形プローブ顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-033140 Applicant：日本電子株式会社
走査型イオンコンダクタンス顕微鏡法
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2010-544789 Applicant：インペリアルイノベーションズリミテッド
走査プローブ顕微鏡の探針位置固定方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-085770 Applicant：東北大学長

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Cited by examiner (4)

探針走査制御方法および走査形プローブ顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-033140 Applicant：日本電子株式会社
走査型イオンコンダクタンス顕微鏡法
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2010-544789 Applicant：インペリアルイノベーションズリミテッド
走査プローブ顕微鏡の探針位置固定方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-085770 Applicant：東北大学長

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