探針走査制御方法および走査形プローブ顕微鏡

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001033140
Publication number (International publication number)：2002236086
Application date： Feb. 09, 2001
Publication date： Aug. 23, 2002
Summary：

【要約】【課題】試料の同視野の連続観察を良好に行うことができる探針走査制御方法および走査形プローブ顕微鏡を提供すること。【解決手段】オペレータは、表示画面A上に表示される試料凹凸像I1,I2,I3に対して、同一の目標位置をカーソルKで指定する。探針走査時刻算出手段12は、目標位置M1,M2,M3に対応する試料4上の点MSでの探針走査時刻T1,T2,T3を求める。また、移動距離算出手段13は、前記点MSが時刻T1からT2にかけて移動した距離d12と、点MSが時刻T2からT3にかけて移動した距離d23を求める。ドリフト検出手段14は、求められた時刻T1,T2,T3と移動距離d12,d23に基づいて試料側のドリフト速度Vを求め、また、試料側のドリフト方向を求める。そして、制御手段10は、試料の同視野の連続観察を行う場合、求められたドリフト量に基づいて探針走査位置を制御する。

Claim (excerpt)：

探針を試料上で走査させて試料像を得る走査形プローブ顕微鏡において、探針を試料上で複数回フレーム走査させて、複数枚の試料像の画像データを取得し、その画像データに基づく複数枚の試料像を表示手段画面上に表示させ、その表示手段画面上に表示される各試料像に対して同一の目標位置をそれぞれ指定し、その指定された目標位置に対応する試料位置での探針の走査時刻を、前記各試料像についてそれぞれ求めると共に、前記各試料像中における前記目標位置の位置に基づき、前記目標位置に対応する試料位置の移動距離および移動方向を求め、前記求めた探針の各走査時刻、前記求めた試料位置の移動距離および移動方向に基づき、試料側のドリフト量を求め、その求めたドリフト量に基づき、探針の試料上での走査を制御するようにしたことを特徴とする探針走査制御方法。

IPC (2)：

G01N 13/10 , G01B 21/30

FI (2)：

G01N 13/10 C , G01B 21/30

F-Term (19)：

2F069AA57 , 2F069AA60 , 2F069BB40 , 2F069DD30 , 2F069EE01 , 2F069FF01 , 2F069GG04 , 2F069GG07 , 2F069GG39 , 2F069GG45 , 2F069GG62 , 2F069GG74 , 2F069HH04 , 2F069HH30 , 2F069JJ08 , 2F069LL03 , 2F069MM24 , 2F069NN00 , 2F069QQ07

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

超微細加工方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-239874 Applicant：富士通株式会社
表面観察方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-358414 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
表面観察方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-156072 Applicant：オリンパス光学工業株式会社

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