Art

J-GLOBAL ID：201902213149093227   Reference number：19A2658982

Development of a New Nonevaporable Getter Coating Using Oxygen-Free Palladium/Titanium, Surface Analysis by Synchrotron Radiation X-ray Photoelectron Spectroscopy, Residual Gas Analysis, and Evaluation of Pumping Speeds

無酸素パラジウム/チタンを用いた新しい非蒸発型ゲッターコーティングの開発,放射光X線光電子分光による表面分析,残留ガス分析,排気速度評価

Author (10)： MIYAZAWA TETSUYA (総合研究大学院大学物質構造科学専攻) ,  KURIHARA MASASHI (横浜国立大学大学院工学府物理情報工学専攻) ,  ONO SHIN'YA (横浜国立大学大学院工学府物理情報工学専攻) ,  HASHIMOTO AYAKO (物質・材料研究機構) ,  HASHIMOTO AYAKO (筑波大学大学院数理物質科学研究科) ,  NAKAYAMA YASUO (東京理科大学理工学部先端化学科) ,  OZAWA KEN'ICHI (東京工業大学理学院化学系) ,  KIKUCHI TAKASHI (高エネルギー加速器研究機構物質構造科学研究所) ,  MASE KAZUHIKO (総合研究大学院大学物質構造科学専攻) ,  MASE KAZUHIKO (高エネルギー加速器研究機構物質構造科学研究所)
Material： 表面と真空  (Vacuum and Surface Science)
Volume： 62  Issue： 9  Page： 568-573(J-STAGE)  Publication year： 2019 
JST Material Number： G0194B  ISSN： 2433-5835  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： treatment ,  *Palladium ,  *Titanium ,  *gettering ,  *covering ,  synchrotron radiation ,  X-ray photoelectron spectroscopy ,  surface analysis ,  residual gas ,  *velocity ,  Hydrogen ,  Carbon Monoxide ,  Environmental Pollution ,  baking ,  Chemistry ,  *experimental equipment ,  *pumping speed ,  carbon contamination ,  catalyst chemistry ,  *chamber ,  cooking (food)
Semi thesaurus term： anoxic processing ,  *nonevaporable getter ,  *coating ,  synchrotron radiation ,  X-ray photoelectron spectroscopy

Author keywords (10)： nonevaporable getter ,  oxygen-free Pd/Ti ,  SR-XPS ,  residual gas analysis ,  pumping speed measurement ,  nonevaporable getter ,  oxygen-free Pd/Ti ,  SR-XPS ,  residual gas analysis ,  pumping speed measurement

JST classification (1)： Vacuum production and techniques  (BA02020L)

Reference (18)：

• 1) C. Boffito, B. Ferrario, P. della Porta and L. Rosai : J. Vac. Sci. Technol. 18, 1117 (1981).
• 2) H.C. Hseuh and C. Lanni : J. Vac. Sci. Technol., A 1, 1283 (1983).
• 3) C. Benvenuti, P. Chiggiato, P. Costa Pinto, A. Escudeiro Santana, T. Hedley, A. Mongelluzzo, V. Ruzinov and I. Wevers : Vacuum 60, 57 (2001).
• 4) C. Benvenuti, P. Chiggiato, A. Mongelluzzo, A. Prodromides, V. Ruzinov, C. Scheuerlein, M. Taborelli and F. Lévy : J. Vac. Sci. Technol., A 19, 2925 (2001).
• 5) K. Mase and T. Kikuchi : Japan Patent applied, 2016-230510 (28 November 2016).

Terms in the title (11)： パラジウム ,  チタン ,  蒸発 ,  開発 ,  放射光 ,  X線光電子分光 ,  表面分析 ,  残留 ,  ガス分析 ,  排気速度 ,  評価