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J-GLOBAL ID：201902232364808607   Reference number：19A1370284

周期的N-DLC/WC積層構造を持つ導電性耐摩耗膜の作製

Author (12)： TAMEKUNI KOKI (豊橋技科大) ,  HARIGAI TOORU (豊橋技科大) ,  DEGAI SATOSHI (豊橋技科大) ,  TANIMOTO TSUYOSHI (豊橋技科大) ,  SUDA YOSHIYUKI (豊橋技科大) ,  TAKIKAWA HIROFUMI (豊橋技科大) ,  TAKAGO SHIGEKI (石川工試) ,  YASUI HARUYUKI (石川工試) ,  KANEKO SATORU (神奈川県産総研) ,  KUNITSUGU SHINSUKE (岡山県工技セ) ,  KAMIYA MASAO (伊藤光学) ,  TAKI MAKOTO (オンワード技研)
Material： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
Volume： 66th  Page： ROMBUNNO.10a-M113-4  Publication year： Feb. 25, 2019 
JST Material Number： Y0054B  ISSN： 2758-4704  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *overlayer ,  *doping ,  tungsten carbide ,  laminate structure ,  thin film ,  *covering ,  magnetron sputtering ,  electrical resistivity ,  *DLC coatings ,  *nitrogen doping ,  *wear resistant coating
Semi thesaurus term： conductive film ,  *wear resistant coating

JST classification (2)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Vapor plating  (WC08022K)

Terms in the title (6)： DLC ,  WC ,  積層構造 ,  導電性 ,  耐摩耗 ,  作製