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J-GLOBAL ID：201902265016276850   Reference number：19A2268992

Electron-beam enhanced creep deformation of amorphous silicon nano-cantilever

非晶質シリコンナノカンチレバーのElectronビーム強化クリープ変形【JST・京大機械翻訳】

Author (4)： Hirakata Hiroyuki (Department of Mechanical Engineering and Science, Kyoto University, Kyoto-daigaku-Katsura, Nishikyo-ku, Kyoto 615-8540, Japan) ,  Konishi Kenta (Department of Mechanical Engineering, Osaka University, 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, Japan) ,  Kondo Toshiyuki (Department of Mechanical Engineering, Osaka University, 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, Japan) ,  Minoshima Kohji (Department of Mechanical Engineering, Osaka University, 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, Japan)
Material： Journal of Applied Physics  (Journal of General Physics and its Application to Other Sciences and to Industry)
Volume： 126  Issue： 10  Page： 105102-105102-10  Publication year： 2019 
JST Material Number： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Abstract/Point： To investigate the creep prope...

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Thesaurus term： fracture strength ,  *creep ,  *amorphous silicon ,  electron beam ,  nanostructure ,  burst ,  *mechanical property ,  creep resistance ,  creep behavior ,  oblique angle deposition ,  field emission scanning electron microscope ,  creep properties ,  strength ,  *property
Semi thesaurus term： 定常状態 ,  *ナノカンチレバー , 【Automatic Indexing@JST】

JST classification (3)： Lattice defects in semiconductors  (BK12040Q) ,  Semiconductor-metal contacts  (BM03084G) ,  Irradiational changes semiconductors  (BK16123E)

Terms in the title (5)： 非晶質シリコン ,  ナノカンチレバー ,  ビーム ,  強化 ,  クリープ変形