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J-GLOBAL ID：201902274743246916   Reference number：19A1061340

Attempts on Pico-Precision Machining via Combination of ELID-Grinding and Polishing

ELID研削とポリシングを連携させたピコプレシジョン加工の試み

Author (8)： OMORI HITOSHI (理化学研究所) ,  KIM Yunji (理化学研究所) ,  UEHARA YOSHIHIRO (理化学研究所) ,  KASUGA HIROSHI (理化学研究所) ,  ONO TERUKO (理化学研究所) ,  LIN WEIMIN (群馬大学) ,  KUROKAWA SHUHEI (九州大学) ,  UMEZU SHINJIRO (早稲田大学)
Material： 精密工学会誌(Web)  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering (Web))
Volume： 85  Issue： 4  Page： 304-309(J-STAGE)  Publication year： 2019 
JST Material Number： U0462A  ISSN： 1882-675X  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： grinding ,  polishing (brightness) ,  surface roughness ,  accuracy of form ,  *chemical mechanical polishing ,  *precision machining ,  magnetic fluid ,  polishing (machining) ,  EEM ,  *ELID grinding ,  nano size ,  processing technique ,  *ultra-precision grinding ,  abrasive machining ,  ELID ,  *machining
Semi thesaurus term： *MRF【研磨】 ,  *プレシジョン加工 ,  polishing ,  grinding ,  magnetorheological fluid ,  electrolytic in-process dressing ,  cooperation

Author keywords (12)： pico-precision machining ,  ultraprecision grinding ,  ELID ,  MRF ,  CMP ,  broad-band fabrication ,  pico-precision machining ,  ultraprecision grinding ,  ELID ,  MRF ,  CMP ,  broad-band fabrication

JST classification (1)： Grinding  (QC03000R)

Reference (12)：

• 1) H. Ohmori and T. Nakagawa : Mirror Surface Grinding of Silicon Wafers with Electrolytic In-Process Dressing, Annals of CIRP, 39, 1 (1990) 329-332.
• 2) 大森整:超精密鏡面加工に対応した電解インプロセスドレッシング (ELID) 研削法, 精密工学会誌, 59, 9 (1993) 1451.
• 3) 大森整:ELID研削加工技術-基礎開発から実用ノウハウまで-, 工業調査会, (2000).
• 4) H. Ohmori, I.D. Marinescu and K. Katahira : Electrolytic In-Process Dressing (ELID) Technologies : Fundamentals and Applications, CRC Press, NY, (2011).
• 5) H. Mimura, H. Ohmori and K. Yamauchi : Development of Focusing System for X-Ray Free Electron Laser, Key Engineering Materials, 516 (2012) 251-256.

Terms in the title (4)： ELID研削 ,  ポリシング ,  連携 ,  試み