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J-GLOBAL ID：201902284828849148   Reference number：19A2695761

Prediction of the Number of Defects in Image Sensors by VM Using Equipment QC Data

装置QCデータを用いたVMによる画像センサにおける欠陥数の予測【JST・京大機械翻訳】

Author (3)： Okazaki Toshiya (Sony Semiconductor Manufacturing Corporation, Kumamoto, Japan) ,  Okusa Kosuke (Department of Communication Design Science, Faculty of Design, Kyushu University, Fukuoka, Japan) ,  Yoshida Kyo (Sony Semiconductor Manufacturing Corporation, Kumamoto, Japan)
Material： IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing  (IEEE Trans Semicond Manuf)
Volume： 32  Issue： 4  Page： 434-437  Publication year： 2019 
JST Material Number： T0521A  ISSN： 0894-6507  CODEN： ITSMED  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Abstract/Point： This paper describes methods a...

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Thesaurus term： electrical characteristic ,  *image sensor ,  partial least squares method ,  variable selection
Semi thesaurus term： 予測性能 ,  一般化線形モデル , 【Automatic Indexing@JST】

JST classification (1)： Measurement,testing and reliability of solid-state devices  (NC03040G)

Terms in the title (4)： QC ,  画像センサ ,  欠陥 ,  予測