検出素子およびその製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： , ,
Agent (1)：松山隆夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2018018750
Publication number (International publication number)：2019138628
Application date： Feb. 06, 2018
Publication date： Aug. 22, 2019
Summary：

【課題】振動による発生電場が微弱であっても振動を検出可能な検出素子を提供する。【解決手段】検出素子10は、基板1〜3と、振動子4と、アンテナ5,7とを備える。基板1は、凹部11と支持部材12とを有する。基板3は、凹部31と支持部材32とを有する。基板1〜3は、底面11Aと底面11Aに対向する底面31Aとを有する空間部SPを含む。支持部材12は、空間部SPの底面11Aから底面31Aの方向へ突出する。支持部材32は、空間部の底面31Aから底面11Aの方向へ突出する。アンテナ5,7は、それぞれ支持部材12,32を覆うように配置される。振動子4は、空間部SP内において振動可能にアンテナ7の一部に接して配置される。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

第1の面と前記第1の面に対向する第2の面とを有する空間部を含む基材と、前記空間部の前記第1の面から前記第2の面の方向へ突出した第1の支持部材と、前記空間部の前記第2の面から前記第1の面の方向へ突出した第2の支持部材と、前記空間部内において前記第1および第2の面の少なくとも1つの面側に配置された第1および/または第2のアンテナ部材と、前記空間部内において振動可能に前記第1のアンテナ部材および/または前記第2のアンテナ部材の極近傍にまたは接して配置された振動子とを備え、前記第1および第2のアンテナ部材の一方は、前記振動子に電磁場を印加し、前記第1および第2のアンテナ部材の一方または他方は、前記振動子の振動信号からなる受信信号を受信する、検出素子。

IPC (1)：

G01N 5/02

FI (1)：

G01N5/02 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

共振振動子質量検出装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-197758 Applicant：財団法人大阪産業振興機構, 国立大学法人大阪大学
圧電振動子、温度センサ、及び、温度測定方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2008-100787 Applicant：株式会社福田結晶技術研究所
特許第6001342号

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