画像生成装置

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (2)：杉本勝徳 , 岡田充浩
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2014236358
Publication number (International publication number)：2016099227
Patent number：6451980
Application date： Nov. 21, 2014
Publication date： May. 30, 2016
Claim (excerpt)：

【請求項1】検査光を検査対象物に照射する光源と、前記検査対象物を透過した透過光および散乱光を受光して画像データを生成する受像器と、前記光源と前記検査対象物との間の光路上に配置され、前記検査光を直線偏光させる第1の偏光子と、前記検査対象物と前記受像器との間の光路上に配置され、前記透過光を直線偏光させる第2の偏光子と、前記第1の偏光子の透過軸と前記第2の偏光子の透過軸とのなす相対角を変更可能な偏光方向制御手段と、を備え、前記受像器を用いて相対角が小さい第1画像と相対角が大きい第2画像とを撮像すると共に、当該第1画像および第2画像を用いて前記検査対象物の内部構造を可視化して、検査対象物中に存在する検知対象を表示した画像を得る画像生成装置であって、前記第2画像のコントラストを増大、および/または前記第1画像のコントラストを低下させる濃度調整を行う濃度調整手段を有することを特徴とする画像生成装置。

IPC (1)：

G01N 21/88 ( 200 6.01)

FI (1)：

G01N 21/88 H

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

透明体検査装置および透明体検査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2009-259976 Applicant：旭硝子株式会社
シリコン基板の検査装置および検査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2011-049434 Applicant：三菱電機株式会社
ボイド検査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-011088 Applicant：株式会社フジクラ

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