大気圧プラズマ装置

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2017154875
Publication number (International publication number)：2019033054
Application date： Aug. 10, 2017
Publication date： Feb. 28, 2019
Summary：

【課題】冷却水の使用に伴う感電、漏電等の種々の課題を一挙に解決することのできる新たな冷却手段を備えた大気圧プラズマ装置を提供することを主たる課題とする。【解決手段】大気圧プラズマ装置1は、ガスが供給される第一の領域R1と、第一の領域R1とは空間的に分離された第二の領域R2と、第一の領域R1に設けられ、供給されたガスをプラズマ化して、一方の電極側から装置外部にプラズマを放出する対向電極E1、E2と、第二の領域R2に形成されて装置内外を連通する開口2と、第二の領域R2内の空気を吸気する吸気部3と、を備え、電極の一部が第二の領域R2に配置されている。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

ガスが供給される第一の領域と、前記第一の領域とは空間的に分離された第二の領域と、前記第一の領域に設けられ、供給されたガスをプラズマ化して、一方の電極側から装置外部にプラズマを放出する対向電極と、前記第二の領域に形成されて装置内外を連通する開口と、前記第二の領域内の空気を吸気する吸気部と、を備え、前記電極の一部が前記第二の領域に配置されている大気圧プラズマ装置。

IPC (1)：

H05H 1/28

FI (1)：

H05H1/28

F-Term (20)：

2G084BB24 , 2G084BB25 , 2G084CC04 , 2G084CC19 , 2G084CC34 , 2G084DD15 , 2G084DD22 , 2G084FF11 , 2G084FF15 , 2G084FF32 , 2G084FF39 , 2G084GG04 , 2G084GG18 , 2G084GG28 , 2G084HH07 , 2G084HH12 , 2G084HH20 , 2G084HH32 , 2G084HH42 , 2G084HH52

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (8)

特開平2-006073
プラズマ処理方法およびその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-063718 Applicant：株式会社日立製作所
プラズマ処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-366144 Applicant：株式会社日立製作所

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Cited by examiner (7)

放電プラズマ処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-371715 Applicant：積水化学工業株式会社
特開平2-006073
プラズマ処理方法およびその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-063718 Applicant：株式会社日立製作所

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