観察装置、観察方法、及び照明装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：福田充広 , 吉田裕美
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2018035106
Publication number (International publication number)：2019148773
Application date： Feb. 28, 2018
Publication date： Sep. 05, 2019
Summary：

【課題】回折限界の1/2倍程度を超える分解能の実現が可能であり、シミュレーションによらないで直接的に対象像を演算できる観察装置を提供する。【解決手段】観察装置100は、所定の周期的な構造的パターンが形成された基板50と、基板50を一方側から所定波長の照明光で照明する光源部42と、基板50の近傍における光パターンの状態を変化させる照明変更部43,48aとを備える照明装置10と、基板50の近傍に配置された観察対象SAによって形成される像を撮影する撮像系61と、撮像系61によって得た像信号を演算処理することによって観察対象の像を再構築する演算処理装置80とを備え、演算処理装置80は、光源部42によって基板50を一方側から照明した状態で得た像から、基本光学応答分布と、当該基本の光学応答分布を挟んで所定空間周波数をシフトさせた複数対の拡張光学応答分布とを取得する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

所定の周期的な構造的パターンが形成された基板と、前記基板を一方側から所定波長の照明光で照明する光源部と、前記基板の近傍における光パターンの状態を変化させる照明変更部とを備える照明装置と、前記基板の近傍に配置された観察対象によって形成される像を撮影する撮像系と、前記撮像系によって得た像信号を演算処理することによって観察対象の像を再構築する演算処理装置とを備え、前記演算処理装置は、前記光源部によって前記基板を一方側から照明した状態で得た像から、基本光学応答分布と、当該基本光学応答分布を挟んで空間周波数をシフトさせた一対以上の拡張光学応答分布とを取得する、観察装置。

IPC (2)：

G02B 21/06 , G01N 21/17

FI (2)：

G02B21/06 , G01N21/17 A

F-Term (20)：

2G059AA05 , 2G059BB08 , 2G059EE01 , 2G059EE02 , 2G059EE07 , 2G059FF01 , 2G059FF03 , 2G059HH03 , 2G059JJ25 , 2G059JJ30 , 2G059KK04 , 2G059LL10 , 2G059MM01 , 2H052AA09 , 2H052AC05 , 2H052AC09 , 2H052AC33 , 2H052AC34 , 2H052AF14 , 2H052AF25

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

像形成法、像形成装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-111644 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
顕微鏡装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-020402 Applicant：株式会社ニコン

Cited by examiner (2)

像形成法、像形成装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-111644 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
顕微鏡装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-020402 Applicant：株式会社ニコン

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