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J-GLOBAL ID:201903019101874384

周期模様を利用した三次元形状・変位・ひずみ測定装置、方法およびそのプログラム

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3): 西澤 和純 ,  大槻 真紀子 ,  大浪 一徳
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):2018541896
Patent number:6583761
Application date: Jun. 01, 2017
Claim (excerpt):
【請求項1】変位分布を測定する測定方法であって、 試料の表面に表れる格子を示す格子画像を所定の方向に第1のダウンサンプリングおよび第1の輝度補間を行って第1のモアレ縞を取得する第1のステップと、 前記第1のモアレ縞を前記方向にさらに第2のダウンサンプリングおよび第2の輝度の補間を行って第2のモアレ縞を生成する第2のステップと、 変位前後の前記第2のモアレ縞の位相分布の差から前記所定の方向または奥行き方向への変位分布を演算する第3のステップと、 を有する測定方法。
IPC (1):
G01B 11/25 ( 200 6.01)
FI (1):
G01B 11/25 H
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3)
Article cited by the Patent:
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