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J-GLOBAL ID：202002210161158232   Reference number：20A2720105

Numerical analysis on high resolution optical measurement method with long working distance objective for in-line inspection of micro-structured surface

微細構造表面のインライン検査のための長い作動距離目標をもつ高分解能光学的測定法に関する数値解析【JST・京大機械翻訳】

Author (4)： Kume Hiromasa (Department of Precision Engineering, The University of Tokyo, Hongo 7-3-1, Bunkyo-ku, Tokyo, Japan) ,  Michihata Masaki (Department of Precision Engineering, The University of Tokyo, Hongo 7-3-1, Bunkyo-ku, Tokyo, Japan) ,  Takamasu Kiyoshi (Department of Precision Engineering, The University of Tokyo, Hongo 7-3-1, Bunkyo-ku, Tokyo, Japan) ,  Takahashi Satoru (Research Center for Advanced Science and Technology, The University of Tokyo, Komaba 4-6-1, Meguro-ku, Tokyo, Japan)
Material： Precision Engineering  (Precis Eng)
Volume： 67  Page： 232-247  Publication year： 2021 
JST Material Number： A0734B  ISSN： 0141-6359  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Abstract/Point： For in-line surface inspection...

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Thesaurus term： fluorescence ,  coherence ,  *numerical analysis ,  lens(optics) ,  *optical measurement ,  image processing ,  optical interference ,  multiplex ,  spatial frequency ,  phase(topology) ,  formulation ,  objective lens ,  *high-resolution ,  microfluidic device
Semi thesaurus term： 位相誤差 , 【Automatic Indexing@JST】

Author keywords (5)： Coherent imaging ,  Structured illumination microscopy ,  Long working distance objective lens ,  Surface inspection ,  Micro-structured device

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (8)： 微細構造 ,  インライン ,  検査 ,  作動距離 ,  目標 ,  高分解能 ,  光学的測定法 ,  数値解析