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J-GLOBAL ID：202002219950656951   Reference number：20A0844409

階層型微細機能構造創製に関する研究(第1報)-多重定在波照明露光構造の光学特性の理論解析-

Author (5)： FUGONO TAKERU (東大) ,  MASUI SHUZO (東大) ,  MICHIHATA MASAKI (東大) ,  TAKAMASU KIYOSHI (東大) ,  TAKAHASHI SATORU (東大)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 2020  Issue： 春季(CD-ROM)  Page： ROMBUNNO.A01  Publication year： Mar. 01, 2020 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *surface structure ,  *hierarchical structure system ,  *fine patterning ,  *holographic grating ,  *guiding principle ,  *modeling ,  analysis ,  electromagnetic field analysis ,  simulation ,  *structure
Semi thesaurus term： *holographic grating ,  *design guide ,  theoretical analysis ,  RCWA

JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Special machining  (QC04000Y)

Reference (2)：

• D.C.Skigin, et al., “Diffraction by dual-period gratings.” Applied optics 46. 9 (2007): 1385-1391
• J.F.Lepage, et al., “Analysis of the diffractional properties of dual-period apodizing gratings: theoretical and experimental results.” Applied optics 43.17 (2004): 3504-3512

Terms in the title (9)： 階層 ,  創製 ,  研究 ,  多重 ,  定在波 ,  照明 ,  露光 ,  光学特性 ,  理論解析