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J-GLOBAL ID：202002253379389160   Reference number：20A2237254

Top-Emission OLED with ITO Top Electrode Films Deposited by a Low-Damage Sputtering Method

低ダメージスパッタ法で堆積したITO上部電極膜有するトップエミッション型OLED素子の熱処理に関する検討

Author (4)： YASUDA YOJI (Tokyo Polytechnic Univ.) ,  KOBAYASHI SHIN'ICHI (Tokyo Polytechnic Univ.) ,  UCHIDA TAKAYUKI (Tokyo Polytechnic Univ.) ,  HOSHI YOICHI (Tokyo Polytechnic Univ.)
Material： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
Volume： 67th  Page： ROMBUNNO.12p-PA5-6  Publication year： Feb. 28, 2020 
JST Material Number： Y0054B  ISSN： 2758-4704  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： measuring instrument ,  annealing (heat treatment) ,  voltage ,  light emission ,  *sputtered deposition ,  substrate temperature ,  thermal oxidation ,  luminous efficacy ,  emission characteristic ,  glass substrate ,  film deposition ,  organic EL ,  *organic EL device ,  energetic particle
Semi thesaurus term： デバイス特性 , 【Automatic Indexing@JST】

JST classification (1)： Light emitting devices  (NC03082G)

Terms in the title (8)： ダメージ ,  スパッタ法 ,  堆積 ,  ITO ,  上部電極 ,  トップ ,  エミッション ,  熱処理