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J-GLOBAL ID：202002257642819399   Reference number：20A0172609

フォトン照射によるPt/SiO_x界面固相反応

Author (15)： SATO KAZUHISA (阪大 超高圧電顕セ) ,  SATO KAZUHISA (大阪大 工) ,  YASUDA HIDEHIRO (阪大 超高圧電顕セ) ,  YASUDA HIDEHIRO (大阪大 工) ,  ICHIKAWA SHUHEI (阪大 超高圧電顕セ) ,  ICHIKAWA SHUHEI (大阪大 工) ,  IMAMURA MASAKI (佐賀大) ,  TAKAHASHI KAZUTOSHI (佐賀大) ,  HATA SATOSHI (九大) ,  HATA SATOSHI (九大 超顕微解析研究セ) ,  MATSUMURA SHO (九大 工) ,  MATSUMURA SHO (九大 超顕微解析研究セ) ,  ANADA SATOSHI (JFCC) ,  LEE J.-G. (KIMS) ,  MORI HIROTARO (阪大 超高圧電顕セ)
Material： 日本物理学会講演概要集(CD-ROM)  (日本物理学会春季大会講演概要集(CD-ROM))
Volume： 74  Issue： 2  Page： ROMBUNNO.13aB22-4  Publication year： Sep. 24, 2019 
JST Material Number： S0671C  ISSN： 2189-079X  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *Platinum ,  *silicon oxide ,  heterogeneous reaction ,  *solid phase reaction ,  amorphous state ,  synchrotron radiation ,  electron diffraction ,  sputtering ,  vacuum deposition ,  silicide ,  platinum compound ,  electronic excitation ,  valence electron ,  inner shell vacancy ,  Auger effect ,  interfacial reaction
Semi thesaurus term： dc sputtering

JST classification (3)： Surface structure of solids in general  (BK15010E) ,  Metallic thin films  (BK14030T) ,  Oxide thin films  (BK14050P)

Terms in the title (4)： フォトン ,  Pt ,  界面 ,  固相反応