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J-GLOBAL ID：202002287263192313   Reference number：20A0647622

Development of a fast atom beam gun for surface-activated bonding

表面活性化接合のための高速原子ビームガンの開発【JST・京大機械翻訳】

Author (10)： Morisaki Ryo (Nagoya University, Furo-cho Chikusa-ku Nagoya, 464-8601, Japan) ,  Hirai Yuuki (Nagoya University, Furo-cho Chikusa-ku Nagoya, 464-8601, Japan) ,  Oka Chiemi (Nagoya University, Furo-cho Chikusa-ku Nagoya, 464-8601, Japan) ,  Mizoshiri Mizue (Nagaoka University of Technology, 1603-1 Kamitomioka Nagaoka, Niigata, 940-2188, Japan) ,  Yamazaki Takahiro (Nagoya University, Furo-cho Chikusa-ku Nagoya, 464-8601, Japan) ,  Sakurai Junpei (Nagoya University, Furo-cho Chikusa-ku Nagoya, 464-8601, Japan) ,  Hirai Takami (NGK INSULATORS, LTD., 2-56 Suda-cho Mizuho-ku Nagoya, 467-8530, Japan) ,  Takahashi Tomonori (NGK INSULATORS, LTD., 2-56 Suda-cho Mizuho-ku Nagoya, 467-8530, Japan) ,  Tsuji Hiroyuki (NGK INSULATORS, LTD., 2-56 Suda-cho Mizuho-ku Nagoya, 467-8530, Japan) ,  Hata Seiichi (Nagoya University, Furo-cho Chikusa-ku Nagoya, 464-8601, Japan)
Material： Precision Engineering  (Precis Eng)
Volume： 62  Page： 106-112  Publication year： 2020 
JST Material Number： A0734B  ISSN： 0141-6359  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Abstract/Point： Surface-activated bonding (SAB...

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Thesaurus term： Argon ,  *atomic beam ,  semiconductor device ,  wear debris ,  plasma ,  surface acoustic wave ,  Carbon ,  magnetic field ,  filter ,  bonding and joining ,  ion beam sputtering ,  surface-activated bonding ,  *beam
Semi thesaurus term： Arイオン ,  表面活性化 ,  三次元集積化 , 【Automatic Indexing@JST】

Author keywords (6)： Surface-activated bonding (SAB) ,  Room-temperature bonding ,  Fast atom beam (FAB) ,  Sputter ,  Surface acoustic wave (SAW) filter ,  Ar plasma

JST classification (2)： Cutting in general  (QC02010V) ,  Special machining  (QC04000Y)

Terms in the title (4)： 表面活性化接合 ,  原子ビーム ,  ガン ,  開発