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J-GLOBAL ID：202002290869386794   Reference number：20A1856521

CVD Diamond Electrodes~Properties and Synthesis Method~

CVDダイヤモンド電極~特性および合成方法~

Author (2)： SUZUKI ASUKA (千葉工大 大学院) ,  SAKAMOTO YUKIHIRO (千葉工大)
Material： 材料の科学と工学  (Materials Science and Technology of Japan)
Volume： 57  Issue： 4  Page： 120-123  Publication year： Aug. 20, 2020 
JST Material Number： G0788A  ISSN： 1347-4774  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *diamond ,  *semiconductor electrode ,  doping ,  diamond tool ,  covering ,  dopant ,  plasma CVD ,  chemical synthesis ,  sulfuric acid ,  electrolysis ,  electrical resistivity ,  emission spectrometry
Semi thesaurus term： CVD diamond ,  *diamond electrode ,  *boron doped diamond ,  boron doping ,  diamond coating ,  電解硫酸

JST classification (2)： Electrolytic equipment  (XE02030E) ,  Carbon and its compounds  (YB02060D)

Reference (17)：

• 渡邉幸志;Jornal of the Vacum Society of Japan,52,6,49(2009)
• 吉川昌範,大竹尚登;気相合成ダイヤモンド,5(株式会社オーム社,1995)
• T.Nagai et al. ; Solid State Phenomena, 187,109(2012)
• K.Ushizawa et al.; Diamond Relat. Mater.,7 ,1719 (1998)
• 栄長泰明,近藤剛史,錦義則,初代善夫;ニューダイヤモンド,32,1,40(2011)

Terms in the title (3)： CVD ,  ダイヤモンド電極 ,  合成方法