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J-GLOBAL ID：202003002699876379

静電レンズ、並びに、該レンズとコリメータを用いた平行ビーム発生装置及び平行ビーム収束装置

Inventor： 松井 文彦 ,  松田 博之
Applicant, Patent owner： 国立大学法人 奈良先端科学技術大学院大学
Agent (1)： 特許業務法人グローバル知財
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2017528715
Patent number：6757036
Application date： Jul. 13, 2016
Claim (excerpt)：

【請求項1】 点源又は集光点に対し凹面状を有する軸対称または実質的に軸対称な非球面メッシュおよび軸対称または実質的に軸対称な単一乃至は複数の電極から成る静電レンズであって、 前記非球面メッシュは、メッシュ開口部の中心近傍からメッシュ中心の位置までを長軸半径とする回転楕円体、又は、メッシュ開口部近傍が内側に凸の曲率で拡がる形状の実質的回転楕円体であり、 メッシュに接続されるメッシュ電極の開口部半径と、前記単一乃至は複数の電極の内、前記メッシュ電極に隣接する第一電極の開口部半径の比は、1.2以上1.6以下であり、 前記回転楕円体における長軸半径と短軸半径との比は、1.0より大きく2.0以下であり、 点源から発生した荷電粒子の取り込み角が±60°で、荷電粒子の軌跡を光軸からのズレ角が±1°以下に平行化することを特徴とする静電レンズ。

IPC (1)：

H01J 37/12 ( 200 6.01)

FI (1)：

H01J 37/12

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• エネルギ分解及び角度分解電子分光用の結像装置、その方法及び分光器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-183932   Applicant：シュタイプ・インストルメンテ・ゲーエムベーハー
• イオン注入イオン源、システム、および方法
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2001-543753   Applicant：セメクイップ,インコーポレイテッド

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• Approach for simultaneous measurement of two-dimensional angular distribution of charged particles.