成膜方法及び成膜装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (2)：好宮幹夫 , 小林俊弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2019023983
Publication number (International publication number)：2020132905
Application date： Feb. 13, 2019
Publication date： Aug. 31, 2020
Summary：

【課題】成膜速度に優れた成膜方法及び成膜装置を提供することを目的とする。【解決手段】成膜部でミストを熱処理して成膜を行う成膜方法であって、ミスト化部において、原料溶液をミスト化してミストを発生させる工程と、水分を含んだキャリアガスを生成する工程と、前記ミスト化部と前記成膜部とを接続する搬送部を介して、前記ミスト化部から前記成膜部へと、前記ミストを前記水分を含んだキャリアガスにより搬送する工程と、前記成膜部において、前記ミストを熱処理して基体上に成膜を行う工程とを含む成膜方法。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

成膜部でミストを熱処理して成膜を行う成膜方法であって、ミスト化部において、原料溶液をミスト化してミストを発生させる工程と、水分を含んだキャリアガスを生成する工程と、前記ミスト化部と前記成膜部とを接続する搬送部を介して、前記ミスト化部から前記成膜部へと、前記ミストを前記水分を含んだキャリアガスにより搬送する工程と、前記成膜部において、前記ミストを熱処理して基体上に成膜を行う工程とを含むことを特徴とする成膜方法。

IPC (3)：

C23C 16/448 , C23C 18/12 , H01L 21/368

FI (3)：

C23C16/448 , C23C18/12 , H01L21/368 Z

F-Term (35)：

4K022AA02 , 4K022AA03 , 4K022AA04 , 4K022AA15 , 4K022AA17 , 4K022BA33 , 4K022DA06 , 4K022DB19 , 4K030AA02 , 4K030AA14 , 4K030AA16 , 4K030BA08 , 4K030BA42 , 4K030CA05 , 4K030CA12 , 4K030EA01 , 4K030FA10 , 4K030GA02 , 4K030JA01 , 4K030JA05 , 4K030JA09 , 4K030JA10 , 4K030JA11 , 4K030JA18 , 4K030LA12 , 5F045AB40 , 5F045AD05 , 5F045AD06 , 5F045AD07 , 5F045AD08 , 5F045AD09 , 5F045DP03 , 5F045EK06 , 5F053AA50 , 5F053DD20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

基板加熱処理方法およびその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-210692 Applicant：大日本スクリーン製造株式会社
ドーパントを添加した結晶性の高い導電性α型酸化ガリウム薄膜およびその生成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2011-164748 Applicant：公立大学法人高知工科大学

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