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J-GLOBAL ID：202103008263147571

対向型X線複合ミラー

Inventor： 松山 智至 ,  山田 純平 ,  一井 愛雄 ,  岡田 浩巳
Applicant, Patent owner： 国立大学法人大阪大学
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2019147194
Publication number (International publication number)：2021028580
Application date： Aug. 09, 2019
Publication date： Feb. 25, 2021
Summary：

【課題】ミラー同士を調整するのにかかる時間を大幅に短縮し、特殊計測機やX線のビームを用いずともアライメントが完了した状態で対向型X線複合ミラーを提供する。【解決手段】1次元のX線反射面を二つ以上備え、X線の斜入射光学系に用いるX線複合ミラーであって、ミラー基板が少なくとも2つ以上存在し、各ミラー基板の1面の一部に、凹型、凸型の何れか一方、若しくは両方の形状の1次元のX線反射面を有するとともに、当該反射面と同一側の前記ミラー基板の面の一部に、平面領域を有し、ミラー基板の平面領域の少なくとも一部を基準にして、別のミラー基板の相対配置を決定し、少なくとも二つの反射面が対向している。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

1次元のX線反射面を二つ以上備え、X線の斜入射光学系に用いるX線複合ミラーであって、 ミラー基板が少なくとも2つ以上存在し、 前記各ミラー基板の1面の一部に、凹型、凸型の何れか一方、若しくは両方の形状の1次元のX線反射面を有するとともに、当該反射面と同一側の前記ミラー基板の面の一部に、平面領域を有し、 前記ミラー基板の平面領域の少なくとも一部を基準にして、別のミラー基板の相対配置を決定し、少なくとも二つの反射面が対向していることを特徴とする対向型X線複合ミラー。

IPC (1)：

G21K 1/06

FI (2)：

G21K1/06 B ,  G21K1/06 M

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• X線ミラーの高精度姿勢制御法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2006-221714   Applicant：国立大学法人大阪大学

Cited by examiner (1)

• X線ミラーの高精度姿勢制御法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2006-221714   Applicant：国立大学法人大阪大学