超純水製造装置とその水質管理方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：宮崎昭夫 , 緒方雅昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2019212250
Publication number (International publication number)：2021084045
Application date： Nov. 25, 2019
Publication date： Jun. 03, 2021
Summary：

【課題】超純水製造装置のろ過膜の清浄度低下を、超純水製造装置の運転中に容易に確認することができる、超純水製造装置とその水質管理方法を提供する。【解決手段】超純水製造装置の水質管理方法であって、前記超純水製造装置はろ過膜を備え、前記ろ過膜に供給されるろ過膜入口水の金属濃度と、前記ろ過膜を透過したろ過膜出口水の金属濃度を、それぞれ濃縮法を用いて分析する分析工程を含む。ろ過膜を備える超純水製造装置であって、前記ろ過膜に供給されるろ過膜入口水の金属濃度と、前記ろ過膜を透過したろ過膜出口水の金属濃度を、それぞれ濃縮法を用いて分析する分析手段を含む。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

超純水製造装置の水質管理方法であって、前記超純水製造装置は、ろ過膜を備え、前記ろ過膜に供給されるろ過膜入口水の金属濃度と、前記ろ過膜を透過したろ過膜出口水の金属濃度を、それぞれ濃縮法を用いて分析する分析工程を含むこと、を特徴とする超純水製造装置の水質管理方法。

IPC (4)：

C02F 1/44 , C02F 1/32 , C02F 1/42 , G01N 15/08

FI (4)：

C02F1/44 J , C02F1/32 , C02F1/42 A , G01N15/08 A

F-Term (23)：

4D006GA06 , 4D006GA07 , 4D006HA01 , 4D006KA01 , 4D006KB04 , 4D006KB11 , 4D006KE12P , 4D006KE13P , 4D006MA01 , 4D006PA01 , 4D006PB02 , 4D006PC02 , 4D025AA04 , 4D025AB05 , 4D025BA24 , 4D025BB04 , 4D025DA04 , 4D025DA05 , 4D037AA03 , 4D037AB18 , 4D037BA18 , 4D037CA03 , 4D037CA15

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

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Gazette classification：公開公報 Application number：特願2009-198407 Applicant：栗田工業株式会社
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