走査型プローブ顕微鏡およびZ駆動装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：新居広守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2019120245
Publication number (International publication number)：2021004859
Application date： Jun. 27, 2019
Publication date： Jan. 14, 2021
Summary：

【課題】試料の変形等を抑制できる走査型プローブ顕微鏡等を提供する。【解決手段】走査型プローブ顕微鏡10は、探針38と、探針38および試料1のうち一方を他方に対して、X軸方向およびX軸方向に直交するY軸方向に移動させるXY駆動装置30と、探針38および試料1のうち一方を他方に対して、X軸方向に直交しかつY軸方向に直交するZ軸方向に移動させる第1Z駆動装置32とを備え、第1Z駆動装置32は、電圧が印加されることによってZ軸方向に伸縮する第1ピエゾ素子42と、第1ピエゾ素子42を少なくとも3点で保持する土台40とを有する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

プローブと、前記プローブおよび試料のうち一方を他方に対して、X軸方向および前記X軸方向に直交するY軸方向に移動させるXY駆動装置と、前記プローブおよび前記試料のうち一方を他方に対して、前記X軸方向に直交しかつ前記Y軸方向に直交するZ軸方向に移動させる第1Z駆動装置とを備え、前記第1Z駆動装置は、電圧が印加されることによって前記Z軸方向に伸縮する第1ピエゾ素子と、前記第1ピエゾ素子を少なくとも3点で保持する土台とを有する、走査型プローブ顕微鏡。

IPC (3)：

G01Q 10/04 , G01Q 60/24 , G01Q 30/14

FI (3)：

G01Q10/04 101 , G01Q60/24 , G01Q30/14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

走査型プローブ顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-304643 Applicant：株式会社島津製作所
微小変位素子、該微少変位素子を複数個備えた集積化アクチュエータ、該集積化アクチュエータを備えた走査型トンネル顕微鏡、および前記集積化アクチュエータを備えた情報処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-299781 Applicant：キヤノン株式会社
振動走査型プローブ顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-320126 Applicant：パシフィック・ナノテクノロジー・インコーポレーテッド

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