振動走査型プローブ顕微鏡

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (6)：社本一夫 , 増井忠弐 , 小林泰 , 千葉昭男 , 富田博行 , 田中英夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004320126
Publication number (International publication number)：2005140782
Application date： Nov. 04, 2004
Publication date： Jun. 02, 2005
Summary：

【課題】走査すべき試料の領域に対して位置合わせするのを容易にし、プローブを試料の表面に安全且つ迅速に接近させるのを容易にし、そして試料の速い走査を容易にする。【解決手段】振動子を或る周波数範囲にわたって動作させ、電流の振幅を周波数範囲にわたって決定し、或る周波数を電流対周波数曲線から選択し、光学顕微鏡を用いて振動子に接続されたプローブを走査されるべき試料表面の領域に対して位置決めし、振動子がプローブを振動させるにつれてプローブを試料に向けて移動させる。更に、振動しているプローブが試料のほぼ100ナノメートル内へ移動されたとき、振動子により生成された音響周波数を検出し、プローブが試料の近傍に移動されたとき原子間力相互作用を検出し、プローブが試料の近傍にあることが検出された後で試料を走査する。【選択図】図11

Claim (excerpt)：

試料の表面の像を形成する走査型プローブ顕微鏡であって、信号を生成する振動子を有するセンサと、前記センサに接続されたプローブと、前記センサに取り付けられた前記プローブの位置を見る光学顕微鏡と、前記プローブを前記試料に対して走査する手段と、前記センサに接続され、前記センサにより生成された信号をモニタリングするセンサ電極と、前記センサ電極により生成された信号に応答して、前記プローブを前記試料の表面に向けて又はそれから離れるよう移動させる手段とを備える走査型プローブ顕微鏡。

IPC (4)：

G01N13/10 , G01B21/30 , G01N13/16 , G01N13/22

FI (5)：

G01N13/10 C , G01N13/10 F , G01B21/30 101Z , G01N13/16 A , G01N13/22 A

F-Term (12)：

2F069AA51 , 2F069AA60 , 2F069AA61 , 2F069GG01 , 2F069GG07 , 2F069GG52 , 2F069HH04 , 2F069JJ07 , 2F069JJ14 , 2F069JJ25 , 2F069LL03 , 2F069MM24

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

限界寸法測定装置及び方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-216049 Applicant：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
走査型プローブ顕微鏡の自動チップ接近方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-130602 Applicant：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
走査型プローブ顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-312590 Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

1 MHz quartz length extension resonator as a probe for scanning near-field acoustic microscopy.

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