透過電子顕微鏡試料支持体、その製造方法及びそれを用いたサンプル調整方法

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2019149692
Publication number (International publication number)：2021034135
Application date： Aug. 19, 2019
Publication date： Mar. 01, 2021
Summary：

【課題】親水性及び電気伝導性において優れた特性を有する透過電子顕微鏡試料支持体を提供する。【解決手段】本透過電子顕微鏡試料支持体は、複数の孔を有する支持要素と、複数の孔の少なくとも一部の孔をカバーする2層のグラフェンとを有する。そして、2層のグラフェンのうち第1のグラフェン膜が、欠陥の少なくとも一部分に親水基が付着した親水化グラフェン膜であり、第1のグラフェン膜の欠陥量が、第1のグラフェン膜以外のグラフェン膜の欠陥量より多いことを特徴とする。このような2層のグラフェンは、例えばプラズマCVD法で成膜された2層グラフェンに対して紫外線オゾン処理を行うことによって作製される。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

複数の孔を有する支持要素と、前記複数の孔の少なくとも一部の孔をカバーする2層のグラフェンと、を有し、前記2層のグラフェンのうち第1のグラフェン膜が、欠陥の少なくとも一部分に親水基が付着した親水化グラフェン膜であり、前記第1のグラフェン膜の欠陥量が、前記第1のグラフェン膜以外のグラフェン膜の欠陥量より多いことを特徴とする透過電子顕微鏡試料支持体。

IPC (2)：

H01J 37/20 , G01N 1/28

FI (2)：

H01J37/20 A , G01N1/28 F

F-Term (5)：

2G052EC22 , 2G052GA34 , 2G052HA19 , 2G052JA15 , 5C001CC01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

透明導電膜構造、及び透明導電膜構造の形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2014-141528 Applicant：株式会社クラレ
グラフェン改変
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2016-533949 Applicant：メディカルリサーチカウンシル
酸化グラフェン、酸化グラフェン分散液及び酸化グラフェンの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2016-039328 Applicant：株式会社ダイセル, 国立大学法人東京工業大学

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Cited by examiner (4)

透過型電子顕微鏡グリッド及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2019-010279 Applicant：ツィンファユニバーシティ, 鴻海精密工業股ふん有限公司
酸化グラフェン、酸化グラフェン分散液及び酸化グラフェンの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2016-039328 Applicant：株式会社ダイセル, 国立大学法人東京工業大学
グラフェン改変
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2016-533949 Applicant：メディカルリサーチカウンシル

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