磁気援用加工法を応用した固定砥粒研磨方法及び研磨装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：吉村俊一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2020030323
Publication number (International publication number)：2021133450
Application date： Feb. 26, 2020
Publication date： Sep. 13, 2021
Summary：

【課題】硬い材料からなる被研磨体を研磨する場合であっても、高能率で高精度の研磨加工を実現できる固定砥粒研磨方法及び研磨装置を提供する。【解決手段】磁極13有する固定砥粒工具10の被研磨体側に、砥粒が付着した磁性粒子又は磁性砥粒を磁気吸着させて、被研磨体20を研磨する固定砥粒研磨方法であって、固定砥粒工具10を回転させ、被研磨体20に固定砥粒工具10を押し付けると同時に被研磨体20と固定砥粒工具10とを相対移動させる。固定砥粒工具10は、被研磨体側の端部11が円形形状であり、周縁部が凸形状部になっており、中央部が凹形状部になっている。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

磁極を有する固定砥粒工具の被研磨体側に、砥粒が付着した磁性粒子又は磁性砥粒を磁気吸着させて、前記被研磨体を研磨する、ことを特徴とする固定砥粒研磨方法。

IPC (5)：

B24B 37/00 , B24B 7/00 , B24B 7/24 , B24B 7/22 , H01L 21/304

FI (6)：

B24B37/00 D , B24B7/00 Z , B24B7/24 , B24B7/22 Z , B24B37/00 H , H01L21/304 621D

F-Term (28)：

3C043BA07 , 3C043BA08 , 3C043BA09 , 3C043BA11 , 3C043BB07 , 3C043CC04 , 3C043CC07 , 3C043CC13 , 3C043DD06 , 3C158AA04 , 3C158AA07 , 3C158CA04 , 3C158CA05 , 3C158CA06 , 3C158CB01 , 3C158CB03 , 3C158DA02 , 3C158DA11 , 3C158ED01 , 3C158ED02 , 3C158ED09 , 5F057AA01 , 5F057AA14 , 5F057BA11 , 5F057BB03 , 5F057CA12 , 5F057DA03 , 5F057EA13

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

開口パターン付き薄板の研磨方法及び磁気研磨装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-084654 Applicant：国立大学法人宇都宮大学
特開平1-020964
複雑形状体の鏡面研磨方法および鏡面研磨装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2005-207887 Applicant：FDK株式会社, 島田邦雄

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