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J-GLOBAL ID：202103020817875272
誘電体膜の電気伝導率測定装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (2)：
木下 茂
, 澤田 優子
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2017215345
Publication number (International publication number)：2019087653
Patent number：6912776
Application date： Nov. 08, 2017
Publication date： Jun. 06, 2019
Claim (excerpt)：
【請求項1】 半導体基板上に形成された誘電体膜の電気伝導率を測定する装置であって、
前記半導体基板を保持する基板保持部と、前記基板保持部に保持された半導体基板の誘電体膜に対し所定の間隙をもって配置される複数のプローブ電極と、前記プローブ電極を電極として前記半導体基板に電圧印加する電圧印加部と、前記プローブ電極から紫外線をパルス発光させ、前記電圧印加部により電圧印加された前記半導体基板に紫外線照射するUV照射部と、前記半導体基板の誘電体膜に発生するリーク電流の電圧を測定する測定部と、前記電圧印加部による電圧印加開始から前記UV照射部による紫外線照射までの遅延時間と測定された電圧との関係である時定数を算出し、該時定数に基づき誘電体膜の電気伝導率を求めるコンピュータとを備え、
前記UV照射部は、前記複数のプローブ電極からそれぞれ紫外線をパルス発光させるための複数の紫外励起光源と、前記複数の紫外励起光源の出力を切り替えるスイッチング手段とを有し、
前記スイッチング手段は、デマルチプレクサとして機能し、処理される各信号の基準となる基準信号に基づき生成され順次切り替わる複数ビットの選択信号に基づき1つの前記紫外励起光源を選択し、選択された紫外励起光源への光トリガ信号の入力により各プローブ電極からの紫外線照射が時分割に切り替えられ、
前記コンピュータは、一測定点について、異なる前記遅延時間について前記測定部により測定された複数回の測定信号に基づき前記時定数を求め、前記時定数に基づき電気伝導率を算出することを特徴とする誘電体膜の電気伝導率測定装置。
IPC (3)：
H01L 21/66 ( 200 6.01)
, G01R 31/26 ( 202 0.01)
, G01N 27/00 ( 200 6.01)
H01L 21/66 Q
, H01L 21/66 C
, G01R 31/26 B
, G01N 27/00 Z
, G01R 31/26 Z
