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J-GLOBAL ID:201703002936462635
スイッチを用いて単一の信号チャネルと複数のパッドとの結合を切り替える試験回路
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3):
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
, 大貫 進介
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2016161738
Publication number (International publication number):2017129559
Application date: Aug. 22, 2016
Publication date: Jul. 27, 2017
Summary:
【課題】 試験回路を提供する。【解決手段】 試験回路はダイのパッド試験を行うためのであり、ダイは少なくとも1組の試験ユニットを含み、各組の試験ユニットは複数のパッドを含む。該試験回路は、該複数のパッドにそれぞれ対応する複数のプローブと、少なくとも1つの信号チャネルと、該少なくとも1つの信号チャネルと該複数のプローブとの間に接続され、該少なくとも1つの信号チャネルと該複数のプローブとの結合を切り替える少なくとも1つのスイッチとを含む。【選択図】 図3
Claim (excerpt):
ダイのパッド試験を行うための試験回路であって、前記ダイは少なくとも1組の試験ユニットを含み、各組の試験ユニットは複数のパッドを含み、
前記試験回路は、
前記複数のパッドにそれぞれ対応する複数のプローブと、
少なくとも1つの信号チャネルと、
前記少なくとも1つの信号チャネルと前記複数のプローブとの間に接続され、前記少なくとも1つの信号チャネルと前記複数のプローブとの結合を切り替える少なくとも1つのスイッチと、を含む、試験回路。
IPC (2):
FI (3):
G01R31/28 M
, G01R31/28 K
, H01L21/66 B
F-Term (12):
2G132AA00
, 2G132AE12
, 2G132AE22
, 2G132AF02
, 2G132AF18
, 2G132AL09
, 4M106AA01
, 4M106AA02
, 4M106AC13
, 4M106BA01
, 4M106DD10
, 4M106DD11
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (8)
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半導体装置の検査方法及び検査装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2006-134336
Applicant:MT映像ディスプレイ株式会社
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プローブおよび電気部品/回路検査装置ならびに電気部品/回路検査方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-228263
Applicant:ヒューレット・パッカード・カンパニー
-
検査装置及び検査システム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2011-229012
Applicant:富士通セミコンダクター株式会社
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