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J-GLOBAL ID：202103021032167096

弾性波計測センサ

Inventor： 下山 勲 ,  松本 潔 ,  グェン ミン ジューン
Applicant, Patent owner： 国立大学法人 東京大学
Agent (4)： 吉田 正義 ,  今枝 弘充 ,  梅村 裕明 ,  吉田 安子
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2016003902
Publication number (International publication number)：2016130735
Patent number：6791476
Application date： Jan. 12, 2016
Publication date： Jul. 21, 2016
Claim (excerpt)：

【請求項1】被計測物で生じる弾性波を計測するセンサ部を複数備えた弾性波計測センサであって、 前記センサ部は、 前記被計測物に固定される脚体と、 前記脚体上に形成されたカンチレバーと、 前記カンチレバーと前記脚体の間に形成されたギャップと、 前記カンチレバー及び前記ギャップを覆う液体と を備え、 前記脚体は、前記被計測物に固定される底面と、前記カンチレバーが形成される上面とを有し、前記底面から前記上面に連通する連通路が形成されており、前記被計測物を伝搬してきた弾性波を前記カンチレバーへ伝達させることを特徴とする弾性波計測センサ。

IPC (2)：

G01N 29/24 ( 200 6.01) ,  G01N 29/14 ( 200 6.01)

FI (2)：

G01N 29/24 ,  G01N 29/14

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 感圧型センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2013-115612   Applicant：国立大学法人東京大学
• 薄膜式微小AEセンサ及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-073420   Applicant：大阪瓦斯株式会社
• AEセンサの製造方法およびこれによって製造されたAEセンサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2012-057883   Applicant：武藤一夫, 川島貴弘, 柴田隆行

Cited by examiner (3)

• 感圧型センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2013-115612   Applicant：国立大学法人東京大学
• 薄膜式微小AEセンサ及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-073420   Applicant：大阪瓦斯株式会社
• AEセンサの製造方法およびこれによって製造されたAEセンサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2012-057883   Applicant：武藤一夫, 川島貴弘, 柴田隆行