大気圧プラズマCVDによる高分子材料用超高速バリアコーティング

Study period：2005 - 2005
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 大学院理工学研究科 )
Research overview：

大気圧・常温においてグロー放電状の反応性非平衡プラズマを形成する技術を確立し,プラスチックフィルムに代表される高分子材料表面にSiO2バリア薄膜を超高速(巻取り速度:100m/min以上,膜厚:10-100nm)でコーティングするための技術開発を行う。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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