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J-GLOBAL ID:202203000459757234
蔓状炭素膜
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
,
Agent (1):
羽場 方紀
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2020192059
Publication number (International publication number):2022073816
Application date: Nov. 02, 2020
Publication date: May. 17, 2022
Summary:
【課題】 低動作開始電圧を有し安定したIV特性をもつエミッタ用炭素膜を得ること。
【解決手段】 本エミッタ用炭素膜は蔓状で不定形に成長した炭素膜構造をもつ。この蔓の表面には棘が法線状に多数存在する。 また棘は非常に小面積の数層からなる独立したグラフェンシート群からなっている。 グラフェンシートはナノメートルの平面からなり、個々のシートには連続性は認められない。 個々のグラフェンシートは蔓に法線状に立ち混在している。 電子放射は法線状に立ったナノシート群の尖端から放射される。
【選択図】図2
Claim (excerpt):
炭素膜のマクロ形状が蔓状を形成し、蔓状の表面に棘を多数もつことを特徴とするエミッタ用炭素膜。
IPC (1):
FI (1):
F-Term (5):
5C227AA06
, 5C227AB09
, 5C227AB15
, 5C227AC08
, 5C227AD12
Patent cited by the Patent:
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