磁気研磨方法及び磁気研磨装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：吉村俊一
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2017152496
Publication number (International publication number)：2019030924
Patent number：7026927
Application date： Aug. 07, 2017
Publication date： Feb. 28, 2019
Claim (excerpt)：

【請求項1】永久磁石に磁性研磨剤を磁気吸着させ、該永久磁石と被研磨体との間に該磁性研磨剤を介した状態で該被研磨体の表面を研磨する方法であって、前記永久磁石は、前記被研磨体を挟んだ位置に配置されて相互に引き合う1組のN極磁石及びS極磁石であり、前記磁性研磨剤が、研磨粒子と該研磨粒子よりも大きい磁性粒子とを含み、該磁性粒子は平均粒径で0.5μm以上500μm以下であり、前記N極磁石を前記被研磨体に向けて空気圧で加圧するための加圧装置及び前記S極磁石を前記被研磨体に向けて空気圧で加圧するための加圧装置により前記各磁石を前記被研磨体に向けて加圧しながら、前記各磁石と前記被研磨体とを相対移動させる、ことを特徴とする磁気研磨方法。

IPC (2)：

B24B 37/00 ( 201 2.01) , B24B 31/112 ( 200 6.01)

FI (4)：

B24B 37/00 D , B24B 31/112 , B24B 37/00 E , B24B 37/00 H

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

研磨装置及び研磨方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-099030 Applicant：株式会社東芝
磁気研磨方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-209343 Applicant：セイコーエプソン株式会社
超精密磁気研磨方法及び超精密磁気研磨用の研磨スラリー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2008-222379 Applicant：国立大学法人宇都宮大学

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