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J-GLOBAL ID：202203006201550315
カーボンナノチューブを成長させる方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2018127968
Publication number (International publication number)：2020007177
Patent number：7080477
Application date： Jul. 05, 2018
Publication date： Jan. 16, 2020
Claim (excerpt)：
【請求項1】 基板上にカーボンナノチューブを成長させる方法であって、 前記基板上にシリカ前駆体を供給するステップと、集束イオンビーム(FIB)を前記シリカ前駆体が供給された基板に照射し、前記シリカ前駆体に基づくシリカからなるシートを形成するステップであって、前記シートは、3nmを超え500nm以下の厚さ、および、面内方向において、長手方向に2μm以上5μm以下、短手方向に2μm以上5μm以下の大きさを有し、前記FIBが照射された基板上に形成される、ステップと、 前記シートが形成された基板を少なくとも酸素を含有する雰囲気中で熱処理するステップと、 化学的気相成長法(CVD)により前記シートから1本のカーボンナノチューブを成長させるステップと を包含する、方法。
IPC (6)：
C01B 32/162 ( 201 7.01)
, B01J 21/08 ( 200 6.01)
, B01J 35/02 ( 200 6.01)
, B82Y 30/00 ( 201 1.01)
, B82Y 40/00 ( 201 1.01)
, H01L 21/316 ( 200 6.01)
C01B 32/162
, B01J 21/08 M
, B01J 35/02 311 Z
, B82Y 30/00
, B82Y 40/00
, H01L 21/316 P
