超純水中のイオン成分の分析方法及び装置

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Applicant, Patent owner： ,
Agent (2)：重野剛 , 重野隆之
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2021158070
Publication number (International publication number)：2023048642
Patent number：7310867
Application date： Sep. 28, 2021
Publication date： Apr. 07, 2023
Claim (excerpt)：

【請求項1】試料超純水を濃縮して分析手段で分析する超純水中のイオン成分の分析方法において、試料超純水を電気透析装置により濃縮することを特徴とする純水中のイオン成分の分析方法であって、前記電気透析装置は、陽極と陰極との間に第1アニオン交換膜、透析膜及び第2アニオン交換膜がこの順に配置され、陽極から陰極に向って陽極室、第1生成室、第2生成室及び陰極室がこの順に配置されている第2電気透析装置であり、第1生成室に試料超純水を通水し、陽極室及び陰極室に硝酸水溶液を通水し、透析処理によりNO3-イオンを、アニオン交換膜を透過させて超純水中に移動させることにより生成させた高純度硝酸水溶液を第2生成室に通水し、該第2生成室からの濃縮水を前記分析手段で分析する超純水中のイオン成分の分析方法。

IPC (4)：

G01N 33/18 ( 200 6.01) , C02F 1/469 ( 202 3.01) , B01D 61/44 ( 200 6.01) , B01D 61/46 ( 200 6.01)

FI (5)：

G01N 33/18 C , C02F 1/469 , B01D 61/44 500 , B01D 61/46 500 , B01D 61/44 510

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

水中イオンモニター
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-050983 Applicant：栗田工業株式会社
超純水製造装置とその水質管理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2019-212250 Applicant：オルガノ株式会社
純水循環供給システム、純水再利用方法、および基板処理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-145273 Applicant：株式会社荏原製作所

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