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J-GLOBAL ID:202303005973905845
透過電子顕微鏡試料支持体、その製造方法及びそれを用いたサンプル調整方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
原田 一男
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):2019149692
Publication number (International publication number):2021034135
Patent number:7370042
Application date: Aug. 19, 2019
Publication date: Mar. 01, 2021
Claim (excerpt):
【請求項1】 複数の孔を有する支持要素と、 前記複数の孔の少なくとも一部の孔をカバーする2層のグラフェンと、 を有し、 前記2層のグラフェンのうち第1のグラフェン膜が、紫外線オゾン処理による欠陥の少なくとも一部分に親水基が付着した親水化グラフェン膜であり、 前記第1のグラフェン膜の欠陥量が、前記第1のグラフェン膜以外のグラフェン膜の欠陥量より多く、 前記2層のグラフェンのラマンスペクトルにおけるGバンド強度に対するDバンド強度の割合が、0.04以上0.5以下である ことを特徴とする透過電子顕微鏡試料支持体。
IPC (2):
H01J 37/20 ( 200 6.01)
, G01N 1/28 ( 200 6.01)
FI (2):
H01J 37/20 A
, G01N 1/28 F
Patent cited by the Patent: