走査型プローブ顕微鏡およびZ駆動装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：新居広守
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2019120245
Publication number (International publication number)：2021004859
Patent number：7273408
Application date： Jun. 27, 2019
Publication date： Jan. 14, 2021
Claim (excerpt)：

【請求項1】プローブと、前記プローブおよび試料のうち一方を他方に対して、X軸方向および前記X軸方向に直交するY軸方向に移動させるXY駆動装置と、前記プローブおよび前記試料のうち一方を他方に対して、前記X軸方向に直交しかつ前記Y軸方向に直交するZ軸方向に移動させる第1Z駆動装置とを備え、前記第1Z駆動装置は、電圧が印加されることによって前記Z軸方向に伸縮する第1ピエゾ素子と、前記第1ピエゾ素子を少なくとも3点で保持する土台とを有する、走査型プローブ顕微鏡。

IPC (3)：

G01Q 10/04 ( 201 0.01) , G01Q 60/24 ( 201 0.01) , G01Q 30/14 ( 201 0.01)

FI (3)：

G01Q 10/04 101 , G01Q 60/24 , G01Q 30/14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

走査型プローブ顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-304643 Applicant：株式会社島津製作所
微小変位素子、該微少変位素子を複数個備えた集積化アクチュエータ、該集積化アクチュエータを備えた走査型トンネル顕微鏡、および前記集積化アクチュエータを備えた情報処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-299781 Applicant：キヤノン株式会社
振動走査型プローブ顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-320126 Applicant：パシフィック・ナノテクノロジー・インコーポレーテッド

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