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J-GLOBAL ID：202303007417844627
力覚センサ
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
弁理士法人 HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2022027127
Publication number (International publication number)：2023123198
Application date： Feb. 24, 2022
Publication date： Sep. 05, 2023
Summary：
【課題】設計時に定めた所望の応答特性を得ることができる力覚センサを提供すること。
【解決手段】力覚センサ(10)は、第1基板(11)と、主面(111)に設けられたメタサーフェスパターン(14)と、メタサーフェスパターン(14)を覆う保護層(15)と、第1基板(11)と対向するように設けられた第2基板(12)と、第2主面(121)に設けられた反射層(16)と、第1基板(11)と第2基板(12)との間隔(G)を規定するスペーサ(13)と、を備えている。
【選択図】図1
Claim (excerpt)：
透光性を有する第1基板と、
前記第1基板の第1主面に設けられたメタサーフェスパターンと、
透光性を有し、且つ、前記メタサーフェスパターンを覆う保護層と、
前記第1基板と対向するように設けられた第2基板であって、前記第1主面に対向する第2主面を含む第2基板と、
前記第2主面に設けられた反射層と、
前記第1基板と前記第2基板との間隔を規定するスペーサと、を備えている、
ことを特徴とする力覚センサ。
IPC (1)：
FI (1)：
Patent cited by the Patent：
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