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J-GLOBAL ID：202303008549075505
力覚センサモジュール
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
弁理士法人 HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2022059543
Publication number (International publication number)：2023150436
Application date： Mar. 31, 2022
Publication date： Oct. 16, 2023
Summary：
【課題】メタサーフェスパターンが静電破壊される可能性を低減すること。
【解決手段】力覚センサモジュール(10)は、透光性を有する第1基板(11)と、第1主面(111)に設けられたメタサーフェスパターン(14)と、第1基板(11)と対向するように設けられた第2基板(12)であって、第1主面(111)に対向する第2主面(121)を含む第2基板(12)と、第2主面(121)に設けられた反射層(16)と、第1主面(111)に設けられた導電性材料製のスペーサ層(13)と、第2主面(121)とスペーサ層(13)とを接合する接合層(18)と、スペーサ層(13)に接続されたグランド配線(22)と、を備えている。
【選択図】図1
Claim (excerpt)：
透光性を有する第1基板と、
前記第1基板の第1主面に設けられたメタサーフェスパターンと、
前記第1基板と対向するように設けられた第2基板であって、前記第1主面に対向する第2主面を含む第2基板と、
前記第2主面に設けられた反射層と、
前記第1主面に設けられた導電性材料製のスペーサ層と、
前記第2主面と前記スペーサ層とを接合する接合層と、
前記スペーサ層に接続されたグランド配線と、を備えている、
ことを特徴とする力覚センサモジュール。
IPC (2)：
FI (2)：
Patent cited by the Patent：
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