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J-GLOBAL ID:202303020876778498
力覚センサ及び力覚センサの製造方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
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Agent (3):
長谷川 芳樹
, 黒木 義樹
, 大森 鉄平
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2022027048
Publication number (International publication number):2023123155
Application date: Feb. 24, 2022
Publication date: Sep. 05, 2023
Summary:
【課題】金属アレイ及び金属層の酸化を抑制する。
【解決手段】力覚センサは、電磁波を透過する材料で構成され、周期的なパターンで配列された金属アレイを表面に有する第一基板と、第一基板と向かい合うように間隔を空けて配置され、第一基板を透過した電磁波を反射する金属層を表面に有する第二基板と、第一基板と第二基板とを接続すると共に金属アレイ及び金属層を収容する内部空間を画成する接続部材と、内部空間に充填される不活性物質とを備える。
【選択図】図1
Claim (excerpt):
電磁波を透過する材料で構成され、周期的なパターンで配列された金属アレイを表面に有する第一基板と、
前記第一基板と向かい合うように間隔を空けて配置され、前記第一基板を透過した電磁波を反射する金属層を表面に有する第二基板と、
前記第一基板と前記第二基板とを接続すると共に前記金属アレイ及び金属層を収容する内部空間を画成する接続部材と、
前記内部空間に充填される不活性物質と、
を備える、力覚センサ。
IPC (1):
FI (1):
Patent cited by the Patent:
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